在FBG以及其他布拉格光柵刻寫(xiě)領(lǐng)域，先鋒科技可提供深紫外準(zhǔn)分子激光器、深紫外連續(xù)激光器、深紫外準(zhǔn)連續(xù)脈沖激光器以及超快直寫(xiě)平臺(tái)。無(wú)論是掩膜干涉刻寫(xiě)、全息刻寫(xiě)、深紫外直寫(xiě)、超快直寫(xiě)，先鋒科技都可為您提供性能*穩(wěn)定、使用成本優(yōu)化的激光器。

一、ATL ATLEX-FBG 準(zhǔn)分子激光器
ATLEX-FBG為德國(guó)ATL公司專(zhuān)門(mén)為FBG光柵刻寫(xiě)而優(yōu)化的準(zhǔn)分子激光器。分布均勻的光斑、良好的相干性、主動(dòng)穩(wěn)定性控制，保證了掩膜干涉刻寫(xiě)的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性；同時(shí)，針對(duì)準(zhǔn)分子激光器的結(jié)構(gòu)和特性，ATLEX-FBG在設(shè)計(jì)制造時(shí)采用系列*的技術(shù)，以使減少維護(hù)、便利維護(hù)、減少消耗、降低成本、增加產(chǎn)率。
· 矩形平頂分布光斑，相對(duì)于高斯光斑更符合加工需求
· >300微米空間相干，強(qiáng)度、干涉掩膜均宜
· 全金屬陶瓷腔體，金屬密封，長(zhǎng)壽命
· 軟暈預(yù)電離，固態(tài)脈沖高壓發(fā)生器，確保脈沖穩(wěn)定性
· 內(nèi)置靜電粉塵吸附，降低污染，延長(zhǎng)窗片壽命
· 2L容量氣室，減少消耗；千萬(wàn)發(fā)長(zhǎng)氣體壽命
· 模塊式設(shè)計(jì)，集成真空泵和鹵素濾清器
· 全風(fēng)冷設(shè)計(jì)，主動(dòng)熱管理，無(wú)需水冷
· 內(nèi)置能量穩(wěn)定主動(dòng)控制
· 快卸式鏡架設(shè)計(jì)，更換鏡片之后無(wú)需調(diào)節(jié)
· 緊湊體積，豐富軟件控制接口

二、LEXEL 85/ 95 系列離子激光器及Quantum 8/9 DUV激光器

在紫外/深紫外全息、干涉光刻領(lǐng)域，連續(xù)輸出離子激光器以其高光束品質(zhì)、長(zhǎng)相干長(zhǎng)度、豐富波長(zhǎng)輸出，仍舊是良好選擇。四十年來(lái)LEXEL一直專(zhuān)注于高功率離子激光器，部分激光管的運(yùn)行時(shí)間超過(guò)兩萬(wàn)小時(shí)仍在正常工作；其高效能陶瓷氣體管、固太銦鋼腔體確保了激光器的壽命和穩(wěn)定性，一直被模仿，*。85/95 氬離子激光器系列提供351nm - 528nm，*高7W輸出；氪離子激光器提供476nm - 799nm輸出。激光器可多線同時(shí)運(yùn)行，或可調(diào)諧的單線運(yùn)行。
Quantum 8/9 倍頻器采用腔式倍頻，可輸出高達(dá)200mW的深紫外激光，非常適合全息光刻應(yīng)用。新一代基于ARM的控制器提供可視化的遠(yuǎn)程操作，并可快速切換倍頻輸出與基頻輸出。

三、Xiton 深紫外固體脈沖激光器
隨著固體激光技術(shù)的發(fā)展，采用固體激光器非線性高次諧波輸出的深紫外激光器逐漸進(jìn)入深紫外加工應(yīng)用領(lǐng)域。固體激光器壽命長(zhǎng)、穩(wěn)定性好、免維護(hù)、無(wú)耗材，體積緊湊、能耗低，在工業(yè)和實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用均具備優(yōu)勢(shì)。
Xiton專(zhuān)業(yè)生產(chǎn)納秒脈沖、高重頻、準(zhǔn)連續(xù)、窄線寬激光器，尤為特色的是提供193、213、224、266、355nm等多個(gè)波長(zhǎng)深紫外、紫外輸出，具備光束質(zhì)量、長(zhǎng)相干長(zhǎng)度，平均功率可達(dá)數(shù)百毫瓦，在部分場(chǎng)景可替代氣體激光器作為FBG刻寫(xiě)光源；同時(shí)，納秒脈沖所具備的高峰值功率，以及TEM00光束模式所帶來(lái)的高聚焦功率密度，使得這系列激光器也可用于FBG的紫外直寫(xiě)。

Xiton適合FBG刻寫(xiě)以及其它布拉格光柵刻寫(xiě)的深紫外/紫外激光器主要有iXION系列、SLM系列、Excite系列、Impress系列等。

IMPRESS213 FBG刻寫(xiě)實(shí)例：
 
四、超快激光FBG直寫(xiě)平臺(tái)
超快激光在透明材料內(nèi)直接刻寫(xiě)微納結(jié)構(gòu)是近年發(fā)展起來(lái)的熱門(mén)應(yīng)用。針對(duì)于FBG，超快直寫(xiě)可以穿透光纖覆層直接在纖芯構(gòu)建折射率結(jié)構(gòu)，無(wú)需破壞覆層，無(wú)需載氫，刻寫(xiě)的FBG具備耐高溫高濕及長(zhǎng)壽命的特征，而且可以隨意制訂調(diào)制深度、結(jié)構(gòu)尺寸、光柵周期及其變化。同時(shí)，更可以靈活的刻寫(xiě)平面波導(dǎo)光柵、二維光柵、體光柵等立體結(jié)構(gòu)，具備非常廣闊的應(yīng)用潛力。

SpeaRay Bragg為專(zhuān)為FBG超快直寫(xiě)設(shè)計(jì)的超快微加工系統(tǒng)，配置高穩(wěn)定花崗巖龍門(mén)架結(jié)構(gòu)、高精度大行程平移臺(tái)，實(shí)時(shí)成像監(jiān)控光路，可實(shí)現(xiàn)石英玻璃內(nèi)高達(dá)0.45的折射率變化以及150nm尺度以下的低散射布拉格點(diǎn)刻寫(xiě)，可用于FBG刻寫(xiě)、波導(dǎo)光柵刻寫(xiě)、VBG刻寫(xiě)、啁啾FBG直寫(xiě)等加工。
應(yīng)用示例