殘余氣體分析儀（RGA）劃分為100、200、300amu三種型號，其優(yōu)異的性能使其成為真空分析儀中*產(chǎn)品。每一個RGA系統(tǒng)都由一個四級桿探針和電子控制單元組成，實時分析windows軟件包可以更方便用于數(shù)據(jù)采集和分析，并可進行遠程控制。

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更新時間：2025-11-07

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光譜相關(guān)

VUV/EUV/X射線光譜儀低溫制冷機氣體分析儀計數(shù)器光源光學(xué)斬波器鎖相放大器近紅外光譜儀高分辨率影像光柵光譜儀臺式銣鐘發(fā)生器拉曼/熒光低溫制冷系統(tǒng) 熒光上轉(zhuǎn)換系統(tǒng) 納秒泵浦探測光譜儀熒光光譜測量系統(tǒng) 測量與測試儀器中階梯光柵光譜儀光譜專用CCD 影像光柵光譜儀拉曼光譜測量系統(tǒng)

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產(chǎn)品介紹

RGA系列殘余氣體分析儀

可以定量和定性分析出真空腔中殘余氣體的濃度和成分。

◇100，200，和300amu
◇優(yōu)于1amu的分辨率
◇6個量級的動態(tài)范圍
◇可檢測5 x 10^-14Torr

◇實時RGA Windows和LabVIEW軟件
◇質(zhì)譜，泄漏檢測和壓力對時間方式
◇現(xiàn)場可更換的電子倍增器和燈絲
◇RS232計算機接口

殘余氣體分析儀（RGA）劃分為100、200、300amu三種型號，其優(yōu)異的性能使其成為真空分析儀中產(chǎn)品。每一個RGA系統(tǒng)都由一個四級桿探針和電子控制單元組成，實時分析windows軟件包可以更方便用于數(shù)據(jù)采集和分析，并可進行遠程控制。

探測器類型                  標(biāo)準(zhǔn)法拉第杯(FC), 可選電子倍增 (EM)
分辨率                         優(yōu)于0.5amu
靈敏度(A/Torr)             2 × 10⁻⁴ (FC), <200 (EM).
探測限                       5 × 10⁻¹¹ Torr (FC),
                                      5 × 10⁻¹⁴ Torr (EM)
測試范圍                       10⁻⁴Torr to UHV (FC)
                                      10⁻⁶ Torr to UHV (EM)
操作溫度                       70 °C (max.)
工作溫度                     300 °C (without ECU)