基于拉曼光譜半導(dǎo)體參數(shù)測試儀，具有非接觸、無損檢測、特異性高的優(yōu)點?？梢詫Π雽?dǎo)體材料進行微區(qū)分析，空間分辨率＜ 800nm （典型值），也可以對樣品進行掃描從而對整個面進行均勻性分析。設(shè)備具有智能化的軟件，可對數(shù)據(jù)進行擬合計

產(chǎn)品型號：SPM300

更新時間：2025-11-08

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光譜相關(guān)

VUV/EUV/X射線光譜儀低溫制冷機氣體分析儀計數(shù)器光源光學(xué)斬波器鎖相放大器近紅外光譜儀高分辨率影像光柵光譜儀臺式銣鐘發(fā)生器拉曼/熒光低溫制冷系統(tǒng) 熒光上轉(zhuǎn)換系統(tǒng) 納秒泵浦探測光譜儀熒光光譜測量系統(tǒng) 測量與測試儀器中階梯光柵光譜儀光譜專用CCD 影像光柵光譜儀拉曼光譜測量系統(tǒng)

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產(chǎn)品介紹

基于拉曼光譜法的半導(dǎo)體參數(shù)測試儀，具有非接觸、無損檢測、特異性高的優(yōu)點?？梢詫Π雽?dǎo)體材料進行微區(qū)分析，空間分辨率＜ 800nm （典型值），也可以對樣品進行掃描從而對整個面進行均勻性分析。設(shè)備具有智能化的軟件，可對數(shù)據(jù)進行擬合計算，直接將載流子濃度、晶化率、應(yīng)力大小或者分布等結(jié)果直觀的展現(xiàn)給用戶。系統(tǒng)穩(wěn)定，重復(fù)性好，可用于實驗室檢驗或者產(chǎn)線監(jiān)測。

① 光路接口盒：

內(nèi)置常用激光器及激光片組，拓展激光器包含自由光及單模光纖輸入；

② 光路轉(zhuǎn)向控制：

光路轉(zhuǎn)向控制可向下或向左，與原子力、低溫、探針臺等設(shè)備連用，可升級振鏡選項

③ 明視場相機：

明視場相機代替目鏡

④ 顯微鏡：

正置科研級金相顯微鏡，標配落射式明暗場照明，其它照明方式可升級

⑤ 電動位移臺：

75mm*50mm 行程高精度電動載物臺，1μm 定位精度

⑥ 光纖共聚焦耦合：

光纖共聚焦耦合為可選項，提高空間分辨率

⑦ CCD- 狹縫共聚焦耦合：

標配CCD- 狹縫耦合方式，可使用光譜儀成像模式，高光通量

⑧ 光譜CCD：

背照式深耗盡型光譜CCD相機， 200-1100nm 工作波段，峰值QE ＞ 90%

⑨ 320mm 光譜儀：

F/4.2高光通量影像校正光譜儀， 1*10-5 雜散光抑制比

SPM300 半導(dǎo)體參數(shù)測試儀主要應(yīng)用

選型表

型號	描述
SPM300-mini	基礎(chǔ)款半導(dǎo)體參數(shù)分析儀，只含一路532nm 激光器，常規(guī)正置顯微鏡，光譜儀，高精度XYZ 位移臺
SPM300-SMS532	多功能型半導(dǎo)體參數(shù)分析儀，含532nm 激光器，常規(guī)正置顯微鏡，光譜儀，高精度XYZ 位移臺，可升級耦合最多4 路激光器
SPM300-OM532	開放式半導(dǎo)體參數(shù)測試儀，含532nm 激光器，定制開放式顯微鏡，光譜儀，高精度XYZ 位移臺，可升級耦合最多4 路激光器

系統(tǒng)參數(shù)

項目	詳細技術(shù)規(guī)格
光源	標配532nm，100mW 激光器，其他激光可選，最多耦合4 路激光，可電動切換，功率可調(diào)節(jié)
光譜儀	320mm 焦距影像校正光譜儀，光譜范圍90-9000cm-1,
光譜分辨率	2cm-1
空間分辨率	<1μm
樣品掃描范圍	標配75mm50mm，最大300mm300mm
顯微鏡	正置顯微鏡，明場或者暗場觀察，帶10X,50X,100X 三顆物鏡；開放式顯微鏡可選
載流子濃度分析	測試范圍測試范圍1017 ~ 1020 cm-3，重復(fù)性誤差<5%
應(yīng)力測試	可直觀給出應(yīng)力屬性（拉力/ 張力），針對特種樣品，可直接計算應(yīng)力大小，應(yīng)力均勻性分析（需額外配置電動位移臺）, 應(yīng)力解析精度0.002cm-1
晶化率測試	可自動分峰，自動擬合，自動計算出晶化率，并且自動計算晶粒大小和應(yīng)力大小