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LIF在等離子體上的應(yīng)用診斷開始于1975年左右,首先是由R.Stern和J.Johnson提出的利用LIF裝置可以測(cè)量中性基團(tuán)和離子的相對(duì)速度、速度分布函數(shù)等。90年代后,LIF被陸續(xù)應(yīng)用到了ECR、ICR、磁控管、螺旋波HELIX、ICP以及微波驅(qū)動(dòng)CVD等
基于激光技術(shù)發(fā)展起來的湯姆遜散射診斷原本用于高溫聚變等離子體的測(cè)量,借助激光技術(shù)和光電探測(cè)技術(shù)的突飛猛進(jìn),湯姆遜散射在近年也大量應(yīng)用于低溫等離子體的密度和電子溫度的測(cè)量。湯姆遜散射具有空間分辨率高(局域測(cè)量),測(cè)量值穩(wěn)定
Resolution Spectra Systems 發(fā)布了其MICRO Spectra激光光譜儀,該產(chǎn)品其mini,具有高的分辨率和較低的價(jià)格。MICRO Spectra為調(diào)諧激光器、多模激光器以及不穩(wěn)定激光器的使用過程提供及其重要的頻譜信息。
SectraResolver軟件使具有多波長(zhǎng)分析功能的激光頻譜分析儀更加*。它可以探測(cè)激光所有的模式,相對(duì)強(qiáng)度和波長(zhǎng),給出出激光源所有的頻譜信息。
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