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激光與量測
動態(tài)干涉儀
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動態(tài)干涉儀有別于基于傳統(tǒng) Fizeau 干涉儀的方法,采用位相檢測方法直接構(gòu)建的動態(tài)干涉 儀既不需要移動待測元件多次曝光,也不需要采用偏振等復雜的光學手段,針 對待測元件進行一次測量即可獲得其反射面型或透過波差。
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